Das auf Mikromechanik beruhende MEMS-Mikrofon ist ein hochempfindliches, kompaktes und in einem weiten Frequenzbereich nutzbares Mikrofon, das gegenüber herkömmlichen Techniken viele Vorteile hat. MEMS-Mikrofone sind heute allgegenwärtig, zum Beispiel in unseren Smartphones. Sie beruhen auf mikromechanischen Siliziumstrukturen, die direkt mit der in den gleichen Siliziumwafer integrierten Vorverstärkertechnik verbunden sind. So kann ein solches Mikrofon nicht nur extrem kompakt ausgeführt werden, es deckt auch einen weiten Bereich bis in den Ultraschallbereich ab. Ultrakompaktes MEMS-Mikrofon mit dem SPU0410LR5H-QB von Knowles. Weiter Frequenzbereich von 100 Hz bis 80 kHz. Ideal auch für Ultraschallanwendungen. Sehr geringe Stromaufnahme.