Femtosekundenlaser haben aufgrund ihrer einzigartigen Merkmale von ultrakurzer Pulsbreite und extrem hoher Spitzenintensität neue Möglichkeiten in der Materialbearbeitung eröffnet. Ein besonders wichtiger Aspekt der Femtosekundenlaserbearbeitung ist, dass starke Absorption selbst in Materialien induziert werden kann, die für den Femtosekundenlaserstrahl transparent sind, dank der nichtlinearen Multiphotonabsorption. Diese Multiphotonabsorption ermöglicht nicht nur die Oberflächenbearbeitung, sondern auch die dreidimensionale interne Mikrofabrikation transparenter Materialien wie Glas. Diese Fähigkeit ermöglicht die direkte Herstellung dreidimensionaler Mikrofluidik, Mikromechanik, Mikroelektronik und Mikrooptik, die im Glas eingebettet sind. Darüber hinaus können diese Mikrokomponenten durch ein einfaches Verfahren unter Verwendung des Femtosekundenlasers problemlos in einen einzigen Glas-Mikrochip integriert werden. Somit bietet die Femtosekundenlaserbearbeitung erhebliche Vorteile.