Thermomechanische Effekte führen häufig zu ungewollten Verlagerungen des Werkzeugmittelpunktes und beeinträchtigen so die Genauigkeit von Produktionsmaschinen. Im Rahmen der Dissertation wird ein Messsystem auf Basis der Zweipunkt-Beugungsinterferometrie zur Erfassung und Korrektur dieser Verlagerungen untersucht und in Form eines Technologiedemonstrators umgesetzt. Anhand von Versuchsläufen auf einem Referenzprüfstand wird zudem die erreichbare Genauigkeit des Demonstrators ermittelt.