Die Fertigungsgenauigkeit von Werkzeugmaschinen lässt sich durch die Kalibrierung von Geometriefehlern und deren Kompensation deutlich steigern. Ein innovatives Verfahren zur Messung der Geometriefehler, das für Koordinatenmessgeräte eingesetzt wird, ist die sequentielle Multilateration mit Tracking-Interferometern. Die Anwendung dieses Verfahrens für die Kalibrierung von Werkzeugmaschinen wird erstmalig untersucht und um zwei Funktionen erweitert: die Kalibrierung von Rotationsachsen und die kontinuierliche Messung bei bewegter Maschine. Abschliessend werden die Effektivität und die Effizienz des Verfahrens in Bezug auf die Steigerung der Fertigungsgenauigkeit von Werkzeugmaschinen untersucht. Die sequentielle Multilateration lässt sich auf verschiedene Kinematiken anwenden, wenn diese mathematisch beschrieben sind. In der Koordinatenmesstechnik wurden Tracking-Interferometer bislang zur.