Das Buch konzentriert sich auf die Verwendung von funktionalen Oxid- und Nitridfilmen, um das Anwendungsspektrum von MEMS (mikroelektromechanische Systeme) zu erweitern, einschliesslich Mikrosensoren, Mikroaktuatoren, Wandlern und elektronischen Komponenten für Mikrowellen- und optische Kommunikationssysteme. Anwendungen, aufkommende Anwendungen, Fertigungstechnologien und Funktionsfragen werden vorgestellt und diskutiert. Das Buch behandelt folgende Themen:

Teil A: Anwendungen und Geräte mit elektrokeramischen MEMS:

• Chemische Mikrosensoren
• Mikroaktuatoren auf Basis von Dünnfilmen
• Mikromaschinen Ultraschallwandler
• Dickschicht-piezoelektrische und magnetostriktive Geräte
• Pyroelektrische Mikrosysteme
• RF-Bulkakustikwellenresonatoren und -filter
• Hochfrequenz-tunbare Geräte
• MEMS für optische Funktionalität

Teil B: Materialien, Fertigungstechnologie und Funktionalität:

• Keramische Dickfilme für MEMS
• Piezoelektrische Dünnfilme für MEMS
• Materialien und Technologien in Dünnfilmen für tunbare Hochfrequenzgeräte
• Permittivität, Tunbarkeit und Verluste in Ferroelektrika für rekonfigurierbare Hochfrequenzelektronik
• Mikrofabrikation von piezoelektrischen MEMS
• Nano-Patterning-Methoden für Elektrokeramiken
• Weiche Lithografie aufkommende Techniken

Das Buch richtet sich an Ingenieure, Wissenschaftler und Forscher verschiedener Disziplinen, Geräteingenieure, Werkstoffingenieure, Chemiker, Physiker und Mikrotechnologen, die in diesem schnell wachsenden und vielversprechenden Bereich arbeiten und/oder interessiert sind. Die Veröffentlichung dieses Buches folgt einer Sonderausgabe über elektrokeramische MEMS, die zu Beginn des Jahres 2004 in der Zeitschrift Journal of Electroceramics veröffentlicht wurde. Die zehn eingeladenen Beiträge dieser Sonderausgabe wurden von den Autoren in Kapitel des vorliegenden Buches umgewandelt, und fünf zusätzliche Kapitel wurden hinzugefügt.