In vielen Anwendungsfeldern gewinnen Mikrostrukturen an Bedeutung. In der Biomedizintechnik sorgen Mikrostrukturen für ein gerichtetes Zellwachstum von Nerven-, Muskel- oder Hautzellen. In der Beleuchtungs- und Displaytechnik werden mikrostrukturierte, lichtleitende Folien mit LEDs kombiniert. Die Strukturen dienen dabei der Lichtauskopplung und variieren in Länge und Abstand, um eine homogene Ausleuchtung zu erreichen. Aufgrund der Anforderungen an die Geometrie und die Oberflächengüte lassen sich derartige Strukturen nicht sinnvoll mit klassischen Mikrostrukturierungsverfahren, wie der Lithographie, fertigen. Die ultrapräzise Zerspanung mit monokristallinen Diamantwerkzeugen unter Verwendung von Fast-Tool-Servo-Systemen (FTS) stellt grundsätzlich eine alternative Fertigungsmethode für Mikrostrukturen dar. Allerdings ist es erforderlich, die Diamantzerspanung für die Fertigung von Strukturen anzupassen.