Das Buch "Modelling of Microfabrication Systems" bietet eine umfassende Analyse der Modellierung von Systemen, die für die Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen von Bedeutung sind. Es behandelt eine Vielzahl von Themen, darunter Ionstrahl-Mikrobearbeitung, Röntgenlithografie, laserchemische Gasphasenabscheidung, Photopolymerisation, Laserablation und Dünnfilme. Die vorgestellten Modelle simulieren das Verhalten dieser Systeme und werden durch grafische Darstellungen ergänzt, die in Verbindung mit experimentellen Ergebnissen diskutiert werden. Das Verständnis dieser Modelle ist entscheidend für den Betrieb und die Optimierung von Mikrofabrikationssystemen. Besonders hervorzuheben ist der Fokus des Buches auf Mikrotechnologien mit hohem Aspektverhältnis, was es zu einer wertvollen Ressource für Wissenschaftler, Ingenieure, Doktoranden und Hersteller macht, die in der Forschung und Entwicklung tätig sind, um die Genauigkeit und Präzision von Mikrofabrikationssystemen für kommerzielle Anwendungen zu verbessern.