Dieses Buch ist der erste Teil einer auf zwei Bände angelegten Monographie, die in der Absicht entstand, den Fachleuten, die in der Forschung oder Industrie auf den Gebieten der Werkstoffoberflächen und der dünnen Schichten tätig sind, sowie den Studierenden eine Einführung in die Grundlagen und eine Übersicht über die vielfältigen Anwendungen und Verfahren der Oberflächen- und Dünnschichttechnologie zu geben. Diese Arbeit beruht auf einer langjährigen Tätigkeit des Verfassers auf diesem Gebiet sowohl in der Industrie als auch an der Hochschule. In ihrem praktischen Einsatz haben technische Oberflächen und dünne Schichten eine Vielzahl von Funktionen zu erfüllen. Um nur einige Beispiele zu nennen: in der Optik als reflexionsmindernde, reflexionserhöhende oder absorbierende Schichten; in der Elektrotechnik als Kontakte, Widerstände und Kondensatoren; in der Mikroelektronik als Me.