Das Buch "Excimer Laser Technology" bietet eine umfassende Untersuchung der Excimer-Lasertechnologie, die in verschiedenen Anwendungen und Geräten weit verbreitet ist. Es behandelt die aktuellen Entwicklungen in diesem Bereich sowie zukünftige Technologien, einschliesslich der F2-Lasertechnologie. Die Autoren Dirk Basting und Gerd Marowsky haben ein kompaktes Handbuch erstellt, das nicht nur die Grundlagen der Optik und der Geräte behandelt, sondern auch die verschiedenen Lasersysteme detailliert beschreibt. Dieses Fachbuch richtet sich an Studierende der Lasertechnologie, Forscher im Bereich der Prozessanwendung, Ingenieure und alle, die sich für die Excimer-Lasertechnologie interessieren. Es bietet eine effektive und verständliche Einführung in den aktuellen und zukünftigen Stand der Excimer-Lasertechnologie.